Titânio cilíndrico que engasga o material puro do zircônio do alvo TA1

Alvo aputtering do titânio do diâmetro 60/65/95/100*30/32/40/45mm

Alvo redondo personalizado do titânio do alvo do titânio

Geralmente nós forneceremos um relatório de inspeção da qualidade como esta os bens,

qual mostra a composição quimica e as propriedades físicas

Alvo quadrado do titânio da fonte, alvo redondo do titânio, alvo especial-dado forma titânio

A pureza é um dos indicadores de desempenho principais do alvo,

porque a pureza do alvo tem uma grande influência no desempenho do filme fino.

As exigências de desempenho principais do alvo:
pureza
A pureza é um dos indicadores de desempenho principais do alvo, porque a pureza do alvo tem uma grande influência no desempenho do filme fino. Contudo, em aplicações práticas, as exigências para a pureza do alvo não são as mesmas. Por exemplo, com o desenvolvimento rápido da indústria da microeletrônica, o tamanho da bolacha de silicone foi desenvolvido de 6", 8" a 12", e a largura da fiação foi reduzida de 0.5um a 0.25um, a 0.18um ou mesmo a 0.13um. Previamente, a pureza do alvo era 99,995%. Pode cumprir as exigências do processo de 0.35um IC, quando a preparação das linhas 0.18um exigir 99,999% ou mesmo 99,9999% para a pureza do material de alvo.
Índice de impureza
As impurezas em sólidos do alvo e oxigênio e umidade nos poros são as fontes principais de contaminação para filmes depositados. Os alvos de usos diferentes têm exigências diferentes para índices de impureza diferentes. Por exemplo, o alumínio puro e os alvos da liga de alumínio usados na indústria do semicondutor têm exigências especiais para o índice alcalino e o índice do elemento radioativo.
densidade
A fim reduzir os poros no sólido do alvo e melhorar o desempenho do filme engasgado, o alvo é exigido geralmente para ter uma densidade mais alta. A densidade do alvo afeta não somente a taxa engasgar, mas as propriedades igualmente elétricas e óticas do filme. Mais alta a densidade do alvo, melhor o desempenho do filme. Além, aumentar a densidade e a força do alvo permite que o alvo suporte melhor o esforço térmico durante engasgar. A densidade é igualmente um dos indicadores de desempenho chaves do alvo.
Distribuição de tamanho de grão e de tamanho da grão
Geralmente o material de alvo é da estrutura policristalina, e o tamanho de grão pode estar na ordem de micrômetros aos milímetros. Para o mesmo material de alvo, a taxa engasgar do alvo com grões finas é mais rápida do que aquela do alvo com grões grosseiras; quando a distribuição da espessura do filme fino depositado engasgando do alvo com diferença menor do tamanho de grão (distribuição uniforme) for mais uniforme.